InFO

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InFO(Integrated Fan-Out,整合型扇出封装)是台积电于2016年推出的一种先进半导体封装技术,通过扇出型晶圆级封装方式实现更薄、更高性能的芯片封装解决方案。

InFO封装技术结构示意图

技术背景

随着摩尔定律逐渐接近物理极限,传统的芯片制程微缩已难以满足日益增长的性能需求。半导体产业开始将目光转向先进封装技术,通过创新的封装方式来提升芯片整体性能。

传统的覆晶封装(Flip Chip)技术需要使用封装基板(Substrate)作为芯片与印刷电路板之间的中介层。这种基板不仅增加了封装厚度,还会带来额外的信号传输延迟和功耗损失。为解决这些问题,台积电投入大量研发资源,最终开发出InFO技术。

2016年,台积电正式量产InFO封装技术,首个大规模商用案例是苹果公司的A10处理器。这一技术的成功应用标志着先进封装进入新时代,也奠定了台积电在封装领域的领先地位。

技术原理

基本概念

InFO技术的核心理念是「扇出」(Fan-Out)。传统封装中,芯片的输入输出端口(I/O)受限于芯片本身的面积。而扇出型封装通过在芯片周围添加重布线层(RDL,Redistribution Layer),将I/O端口「扇出」到更大的区域,从而实现更多的连接点和更灵活的布线设计。

结构特点

InFO封装主要由以下几个关键层次组成:

芯片层:位于封装结构的核心位置,是实际执行运算功能的集成电路晶粒。

模塑化合物层:使用环氧树脂等材料将芯片包覆固定,提供机械保护和支撑。

重布线层:采用制成的精细导线网络,负责将芯片的I/O端口重新分布到封装表面的焊球位置。

焊球阵列:位于封装底部,用于与印刷电路板进行电气连接。

制程流程

InFO的制造过程采用「芯片优先」(Chip First)的方式。首先将已完成测试的良品芯片放置在临时载板上,然后使用模塑化合物进行包覆。接着在晶圆表面制作重布线层,最后进行焊球植入和切割分离。整个过程在晶圆级别完成,因此也被称为晶圆级封装

采用InFO封装的移动处理器芯片

技术优势

封装厚度降低

InFO技术最显著的优势是大幅减少封装厚度。由于消除了传统封装基板,整体封装高度可降低约20%至30%。这对于追求轻薄设计的智能手机等移动设备尤为重要。

电气性能提升

去除封装基板后,信号传输路径缩短,电感和电阻随之降低。这意味着更快的信号传输速度、更低的功耗以及更好的信号完整性。据台积电公布的数据,InFO封装可使芯片功耗降低约10%至15%。

散热效率改善

更薄的封装结构有利于热量散发。芯片产生的热量可以更快地传导至外部,降低工作温度,从而提升芯片的稳定性和使用寿命。

成本效益

虽然InFO技术的初期投资较高,但由于省去了封装基板的材料和制造成本,在大规模量产时具有明显的成本优势。此外,更高的良率和更简化的供应链也有助于降低整体成本。

技术演进

InFO-PoP

InFO-PoP(Package on Package)是InFO技术的重要衍生版本,专为移动应用处理器设计。该技术在InFO封装的基础上,于顶部堆叠动态随机存取存储器(DRAM)封装,实现处理器与内存的垂直整合。这种设计进一步节省了电路板空间,同时缩短了处理器与内存之间的数据传输距离。

InFO-oS

InFO-oS(on Substrate)将InFO技术与传统基板封装相结合,适用于需要更多I/O端口的高性能应用。该方案在保留InFO优势的同时,通过基板提供额外的布线层次和连接能力。

InFO-L

InFO-L(Large)针对高性能计算数据中心应用开发,支持更大尺寸的芯片封装和更复杂的多芯片整合。该技术可将多个芯片或小芯片(Chiplet)整合在同一封装内,实现异构计算架构。

InFO-3D

InFO-3D代表了InFO技术向三维堆叠方向的演进。通过硅通孔(TSV)技术,实现多层芯片的垂直堆叠,大幅提升单位面积的运算密度和带宽。

应用领域

移动设备

InFO技术最早且最广泛的应用领域是移动设备处理器。自2016年苹果A10处理器采用InFO封装以来,后续的A11、A12等系列处理器均延续使用该技术。InFO封装帮助这些处理器在有限的手机空间内实现更高的性能和更长的电池续航。

高性能计算

随着InFO技术的不断演进,其应用范围已扩展至服务器处理器、图形处理器人工智能加速器等高性能计算领域。InFO-L和InFO-3D等变体为这些应用提供了强大的封装解决方案。

汽车电子

自动驾驶车联网技术的发展对车载芯片提出了更高要求。InFO封装的高可靠性和优异的热管理特性使其成为汽车电子领域的理想选择。

物联网设备

物联网设备对尺寸和功耗有严格限制,InFO封装的轻薄特性和低功耗优势使其在该领域具有广阔的应用前景。

市场地位

InFO技术的成功使台积电在先进封装市场占据领先地位。该技术不仅为台积电带来了可观的营收,更重要的是增强了其在半导体产业链中的话语权。通过将先进制程与先进封装相结合,台积电能够为客户提供更完整的解决方案。

面对英特尔的EMIB技术和三星电子的FO-WLP技术等竞争,台积电持续投入研发资源,不断推出InFO技术的升级版本,以保持技术领先优势。

未来展望

随着小芯片架构和异构整合成为半导体产业的重要趋势,InFO技术将扮演越来越关键的角色。台积电已宣布将InFO与其CoWoS(Chip on Wafer on Substrate)技术相结合,开发更先进的封装解决方案。

业界预期,未来的InFO技术将支持更精细的重布线层、更高密度的芯片整合以及更先进的三维堆叠能力,为下一代高性能芯片提供坚实的封装基础。

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